氣相沉積爐設備特點是什么　　氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料，也可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設備特點如下：　　1.多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍小；　　3.氣相沉積爐設備自動化高，關鍵執行電氣件采用進口；操作直觀、簡便，觸摸屏經過開發，可動態顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入。　　4.采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強。

　　真空熔煉爐煉技術是目前對金屬材料加熱效率高、速度快，低耗節能環保型的感應加熱技術。該技術主要在感應熔煉爐等設備上實現，應用范圍十分廣泛。 　　固態的金屬原材料放入由線圈纏繞的坩堝中，當電流流經感應線圈時，產生感應電動勢并使金屬爐料內部產生渦流，電流發熱量大于金屬爐料散熱量的速度時，隨著熱量越積越多，到達一定程度時，金屬由固態熔化為液態，達到冶煉金屬的目的。 　　在此過程中，由于整個過程發生在真空環境下，因此，有利于金屬內部氣體雜質的祛除，得到的金屬合金材料更加純粹。同時在真空熔煉爐冶煉過程中，通過真空環境以及感應加熱的控制，可以調整熔煉溫度并及時補充合金金屬，達到精煉的目的。在熔化過程中，因為感應熔煉技術的特點，液態的金屬材料在坩堝內部由于受到電磁力的相互作用，可以自動實現攪拌，使成分更加均勻，這也是感應熔煉技術的一大優勢。 　　與傳統的冶煉相比，真空熔煉爐節能，環保，工人作業環境好，勞動強度小，具有很大優勢。利用感應熔煉技術，澆注的合金材料雜質更少，添加的合金比例更加合適，能夠更加符合工藝對材料各性能的要求。 　　所以該爐子技術目前已經得到大規模的使用，從用于試驗研究的幾千克感應爐到用于實際生產的幾十噸容量的大型真空熔煉爐。由于其操作工藝簡單，熔化升溫快熔煉過程容易控制，所冶煉金屬成分均勻等優點，具有很大的應用前景，近些年得到了快速的發展。