真空熔煉爐采用耐熱鋼制造的真空罐放入電阻爐中，根據(jù)真空熱處理工藝的需要，配接適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)，即成為筒單的真空熱處理爐。是由電阻爐，真空罐硬和真空泵真空悶門(mén)、真空計(jì)等構(gòu)成的真空系統(tǒng)。其熱源在真空的外部，也就是電熱元件設(shè)置在真空罐的外部，工件放在真空罐的內(nèi)部，靠間接加熱。 　　真空熔煉爐有以下幾種結(jié)構(gòu)： 　　1.鐘罩式結(jié)構(gòu) 　　這種結(jié)構(gòu)的真空缺座落在爐底上，整個(gè)爐底和真空罐可以借助于電動(dòng)或液壓傳動(dòng)升降，以完成裝出料操作并能縮短冷卻時(shí)間。也可以采取真空罐和爐底固定不動(dòng)，罩式爐體升降的方法來(lái)完成進(jìn)出料操作等，但是爐體升降較為復(fù)雜。采用哪一種方法，要根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況而定。 　　2.雙真空結(jié)構(gòu) 　　這種結(jié)構(gòu)不僅真空罐內(nèi)部被抽成真空，而且真空罐外部的爐體部分也被抽成真空。這樣，就可以減少真空鑲承受的壓力，避免真空罐外壁氧化和變形，延長(zhǎng)了真空罐的使用壽命。 　　在使用時(shí)還要注意，真空罐是真空甩帶爐的關(guān)鍵性部件。由于真空罐須在高溫和一個(gè)大氣壓的外壓條件下工作，所以，真空罐的材料應(yīng)具備良好的熱穩(wěn)定性和耐氧化性，間接性能要好，焊縫不易產(chǎn)生氣孔、開(kāi)裂，保證高溫氣密性。材料成分中的元素蒸氣壓要低，防止合金元素在高溫、高真空下?lián)]發(fā)。

　　氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過(guò)濾系統(tǒng)、操作平臺(tái)等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板，既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強(qiáng)爐體壁抗壓能力，爐體上設(shè)置電極座、測(cè)溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。 　　加熱及保溫層，發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體，分三個(gè)加熱區(qū)，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護(hù)非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強(qiáng)度，采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時(shí)抽真空，并設(shè)置手動(dòng)及自動(dòng)壓差閥。考慮真空放電現(xiàn)象，采用低電壓大電流的供電方式。